真空镀膜机移动靶装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN93212674.X
申请日
1993-05-18
公开(公告)号
CN2162470Y
公开(公告)日
1994-04-20
发明(设计)人
张文华
申请人
申请人地址
100088北京市新外大街三号2-3-201
IPC主分类号
C23C1435
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
专利权的终止未缴年费专利权终止
国省代码
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共 50 条
[1]
真空镀膜机用成型镀膜靶材 [P]. 
杨太礼 ;
张向东 .
中国专利 :CN2818494Y ,2006-09-20
[2]
真空镀膜机 [P]. 
姚飞 ;
钱锋 ;
李丙科 ;
孙丁群 ;
宋银海 .
中国专利 :CN204769364U ,2015-11-18
[3]
真空镀膜机 [P]. 
段元成 ;
毛祖献 ;
容春华 .
中国专利 :CN205258592U ,2016-05-25
[4]
真空镀膜机 [P]. 
林建利 .
中国专利 :CN202246835U ,2012-05-30
[5]
真空镀膜机 [P]. 
王昆 .
中国专利 :CN209456546U ,2019-10-01
[6]
真空镀膜机 [P]. 
黄启泰 ;
倪颖 ;
任建锋 ;
王毅 .
中国专利 :CN208151468U ,2018-11-27
[7]
真空镀膜机 [P]. 
郑维隆 ;
郑裕泡 ;
李初转 ;
金影群 ;
刘中位 .
中国专利 :CN203007387U ,2013-06-19
[8]
真空镀膜机 [P]. 
陈弘 .
中国专利 :CN205774768U ,2016-12-07
[9]
真空镀膜机 [P]. 
王玉梅 .
中国专利 :CN204825037U ,2015-12-02
[10]
真空镀膜机 [P]. 
傅志坚 .
中国专利 :CN210560729U ,2020-05-19