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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-04-17 | 授权 | 授权 |
| 2011-02-09 | 公开 | 公开 |
| 2011-03-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101059706402 IPC(主分类):G03F 7/033 专利申请号:200880128052X 申请日:20080610 |
| 2013-03-27 | 著录事项变更 | 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101552595169 IPC(主分类):G03F 7/033 专利申请号:200880128052X 变更事项:申请人 变更前:日立化成工业株式会社 变更后:日立化成株式会社 变更事项:地址 变更前:日本东京都 变更后:日本东京都千代田区丸内一丁目9番2号 |