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超声波扫描系统以及用于对晶圆进行超声波扫描的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811429623.5
申请日：
2018-11-28
公开(公告)号：
CN109300823B
公开(公告)日：
2019-02-01
发明(设计)人：
孙必胜
刘命江
申请人：
申请人地址：
223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2166
代理机构：
中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038
代理人：
周衡威;陈华成
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-02-01 | 公开 | 公开 |
| 2021-02-09 | 授权 | 授权 |
| 2019-03-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20181128 |