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一种钴钽锆靶材的制备方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202010330861.1
申请日
:
2020-04-24
公开(公告)号
:
CN111424245B
公开(公告)日
:
2020-07-17
发明(设计)人
:
蔡新志
童培云
朱刘
何坤鹏
黄宇彬
邓瑞
钟振宇
申请人
:
申请人地址
:
511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区
IPC主分类号
:
C23C1434
IPC分类号
:
C22C102
C22C1907
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-08-11
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20200424
2020-07-17
公开
公开
2022-07-01
授权
授权
共 50 条
[1]
一种钴钽锆合金靶材的制备方法及其应用
[P].
肖柱
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肖柱
;
方梅
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方梅
;
李周
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李周
;
朱云天
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朱云天
;
陈志永
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陈志永
.
中国专利
:CN110735068B
,2020-01-31
[2]
一种锆钇合金靶材的制备方法
[P].
蔡新志
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蔡新志
;
冉成义
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冉成义
;
童培云
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童培云
;
朱刘
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朱刘
.
中国专利
:CN112030013A
,2020-12-04
[3]
一种钽钌合金靶材及其制备方法
[P].
邵玲
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邵玲
;
王广欣
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王广欣
;
赵学义
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赵学义
.
中国专利
:CN104226999A
,2014-12-24
[4]
一种钽钌合金靶材及其制备方法
[P].
邵玲
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邵玲
;
王广欣
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王广欣
;
赵学义
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赵学义
.
中国专利
:CN104233205A
,2014-12-24
[5]
一种钽钛合金靶材的制备方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
潘杰
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潘杰
;
边逸军
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边逸军
;
王学泽
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王学泽
;
杨慧珍
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杨慧珍
.
中国专利
:CN114029484A
,2022-02-11
[6]
一种锆钇合金靶材及其制备方法
[P].
冉成义
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
冉成义
;
蔡新志
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
蔡新志
;
童培云
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
童培云
;
潘仕安
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
潘仕安
.
中国专利
:CN119640071A
,2025-03-18
[7]
一种铋锑碲合金靶材的制备方法
[P].
蔡新志
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蔡新志
;
朱刘
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朱刘
;
童培云
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童培云
;
冉成义
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冉成义
;
苏紫珊
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苏紫珊
.
中国专利
:CN112430093A
,2021-03-02
[8]
一种高纯度钽钌合金靶材及其制备方法
[P].
李风浪
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李风浪
;
李舒歆
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李舒歆
.
中国专利
:CN106756826A
,2017-05-31
[9]
一种钽靶材及其制备方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
边逸军
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边逸军
;
潘杰
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潘杰
;
王学泽
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王学泽
;
江胜君
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江胜君
.
中国专利
:CN113136554A
,2021-07-20
[10]
钛铝锆合金靶材及其制备方法
[P].
张凤戈
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张凤戈
;
唐培新
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唐培新
;
郝权
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郝权
;
赵雷
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赵雷
;
何向晖
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何向晖
;
姜海
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姜海
.
中国专利
:CN104419846A
,2015-03-18
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