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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-09-26 | 著录事项变更 | 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101759883584 IPC(主分类):G01N 21/89 专利申请号:2014101370519 变更事项:申请人 变更前:上海微电子装备有限公司 变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司 变更事项:地址 变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 |
| 2015-11-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101633318715 IPC(主分类):G01N 21/89 专利申请号:2014101370519 申请日:20140408 |
| 2015-10-14 | 公开 | 公开 |
| 2019-09-20 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N 21/89 申请公布日:20151014 |