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一种安全性高的芯片生产设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010954076.3
申请日：
2020-09-11
公开(公告)号：
CN112157563A
公开(公告)日：
2021-01-01
发明(设计)人：
刘彦杰
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市福田区香蜜湖街道紫竹六道金民大厦809-1
IPC主分类号：
B24B2902
IPC分类号：
B24B4106
B24B5504
B24B5506
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 29/02 申请日:20200911 |
| 2021-01-01 | 公开 | 公开 |
| 2021-07-23 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):B24B 29/02 申请公布日:20210101 |