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蒸发源

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201310438958.4
申请日：
2013-09-24
公开(公告)号：
CN103469161A
公开(公告)日：
2013-12-25
发明(设计)人：
赵芳 林成勇 魏锋
申请人：
申请人地址：
611731 四川省成都市高新区(西区)科新西街168号
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
代理机构：
成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227
代理人：
周永宏
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-09-03 专利权的终止 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20130924 授权公告日:20150812 终止日期:20200924
2013-12-25 公开 公开
2015-08-12 授权 授权
2014-01-22 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101564928897 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2013104389584 申请日:20130924
共 50 条
[1]
蒸发源 [P]. 
林文晶 .
中国专利 :CN214881791U ,2021-11-26
[2]
蒸发源 [P]. 
林文晶 .
中国专利 :CN114672769A ,2022-06-28
[3]
蒸发源、蒸发源系统 [P]. 
胡海兵 .
中国专利 :CN111378933A ,2020-07-07
[4]
一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置 [P]. 
张金中 .
中国专利 :CN205443432U ,2016-08-10
[5]
蒸发源 [P]. 
林文晶 .
中国专利 :CN214881792U ,2021-11-26
[6]
蒸发源 [P]. 
林文晶 ;
彭虎 .
中国专利 :CN114657504A ,2022-06-24
[7]
蒸发源 [P]. 
林文晶 ;
彭虎 .
中国专利 :CN114657505A ,2022-06-24
[8]
蒸发源 [P]. 
近藤喜成 ;
山田尚人 ;
小林义仁 ;
佐藤聪 ;
松本荣一 .
中国专利 :CN104603321A ,2015-05-06
[9]
蒸发源 [P]. 
林文晶 ;
彭虎 .
中国专利 :CN214881785U ,2021-11-26
[10]
蒸发源 [P]. 
林文晶 ;
彭虎 .
中国专利 :CN214937766U ,2021-11-30
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