清洁膜的真空镀膜方法及镀膜器件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611201051.6

申请日：

2016-12-22

公开(公告)号：

CN106521417A

公开(公告)日：

2017-03-22

发明(设计)人：

林志龙曾妩程朝阳张俊惠

申请人：

申请人地址：

101599 北京市密云县果园西路27号

IPC主分类号：

C23C1410

IPC分类号：

C23C1432

代理机构：

北京邦信阳专利商标代理有限公司 11012

代理人：

金玺

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-04-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101714027305 IPC(主分类):C23C 14/10 专利申请号:2016112010516 申请日:20161222
2017-03-22	公开	公开
2020-05-22	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/10 申请公布日:20170322

共 50 条

[1]

真空镀膜装置及镀膜方法 [P].

王君 .

中国专利 :CN104894522A ,2015-09-09

[2]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈惠君 ;

杨锐 ;

曹祯烨 ;

杜瀚翔 ;

朱昆 .

中国专利 :CN118272775B ,2024-09-13

[3]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

陈惠君 ;

杨锐 ;

曹祯烨 ;

杜瀚翔 ;

朱昆 .

中国专利 :CN118272775A ,2024-07-02

[4]

一种集热膜的真空镀膜方法及真空镀膜设备 [P].

陈五奎 ;

刘强 ;

黄振华 ;

李洁凤 .

中国专利 :CN106906446A ,2017-06-30

[5]

真空镀膜装置及镀膜方法 [P].

吴金宝 ;

陈肇英 ;

施进德 ;

吕明生 .

中国专利 :CN101831611B ,2010-09-15

[6]

真空镀膜设备及镀膜方法 [P].

林海天 ;

李立升 ;

郑礼伟 ;

陈松 ;

杨恺 .

中国专利 :CN114164404A ,2022-03-11

[7]

真空镀膜系统及其镀膜方法 [P].

仲梁维 ;

丛凤杰 .

中国专利 :CN103147060A ,2013-06-12

[8]

真空镀膜设备及其镀膜方法 [P].

朱昆 ;

颜学庆 ;

曹健辉 ;

刘玮 ;

陈惠君 .

中国专利 :CN114318285A ,2022-04-12

[9]

真空镀膜方法及真空镀膜设备 [P].

黄永长 ;

朱振华 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194366A ,2024-12-27

[10]

真空镀膜设备及真空镀膜方法 [P].

黄永长 ;

朱振华 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN119194364A ,2024-12-27

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