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光刻胶剥离液再生方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202010088819.3
申请日
:
2020-02-12
公开(公告)号
:
CN111427243A
公开(公告)日
:
2020-07-17
发明(设计)人
:
卢燕燕
张丽燕
申请人
:
申请人地址
:
516200 广东省惠州市惠阳区良井镇围龙管理区麦科特科技工业园维修车间西面
IPC主分类号
:
G03F742
IPC分类号
:
代理机构
:
广州市一新专利商标事务所有限公司 44220
代理人
:
李乃哲
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-07-17
公开
公开
2020-08-11
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/42 申请日:20200212
共 50 条
[1]
光刻胶剥离液
[P].
侯军
论文数:
0
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0
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0
侯军
;
吕冬
论文数:
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吕冬
.
中国专利
:CN101295144A
,2008-10-29
[2]
光刻胶用剥离液和使用该剥离液的光刻胶剥离方法
[P].
横井滋
论文数:
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0
横井滋
;
肋屋和正
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0
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0
肋屋和正
.
中国专利
:CN1403876A
,2003-03-19
[3]
光刻胶剥离液组合物
[P].
张伟明
论文数:
0
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0
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机构:
合肥盛剑微电子有限公司
合肥盛剑微电子有限公司
张伟明
;
张继贤
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机构:
合肥盛剑微电子有限公司
合肥盛剑微电子有限公司
张继贤
;
李玉兴
论文数:
0
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0
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机构:
合肥盛剑微电子有限公司
合肥盛剑微电子有限公司
李玉兴
;
衡京
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机构:
合肥盛剑微电子有限公司
合肥盛剑微电子有限公司
衡京
;
章学春
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机构:
合肥盛剑微电子有限公司
合肥盛剑微电子有限公司
章学春
;
虞弈星
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机构:
合肥盛剑微电子有限公司
合肥盛剑微电子有限公司
虞弈星
.
中国专利
:CN120469175A
,2025-08-12
[4]
一种可再生光刻胶剥离液及其制备方法
[P].
陈美玲
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0
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机构:
惠州达诚微电子材料有限公司
惠州达诚微电子材料有限公司
陈美玲
;
卢燕燕
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机构:
惠州达诚微电子材料有限公司
惠州达诚微电子材料有限公司
卢燕燕
;
张丽燕
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机构:
惠州达诚微电子材料有限公司
惠州达诚微电子材料有限公司
张丽燕
.
中国专利
:CN118732424B
,2025-04-15
[5]
一种可再生光刻胶剥离液及其制备方法
[P].
陈美玲
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0
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机构:
惠州达诚微电子材料有限公司
惠州达诚微电子材料有限公司
陈美玲
;
卢燕燕
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机构:
惠州达诚微电子材料有限公司
惠州达诚微电子材料有限公司
卢燕燕
;
张丽燕
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机构:
惠州达诚微电子材料有限公司
惠州达诚微电子材料有限公司
张丽燕
.
中国专利
:CN118732424A
,2024-10-01
[6]
光刻胶剥离液及剥离装置
[P].
任学超
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0
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任学超
.
中国专利
:CN111474832A
,2020-07-31
[7]
一种光刻胶剥离液
[P].
鄢艳华
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鄢艳华
;
康威
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康威
;
尹静雅
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尹静雅
;
陈昊
论文数:
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0
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0
陈昊
.
中国专利
:CN107544215A
,2018-01-05
[8]
光刻胶用剥离液和使用该剥离液的光刻胶剥离方法
[P].
肋屋和正
论文数:
0
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0
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0
肋屋和正
;
横井滋
论文数:
0
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0
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0
横井滋
.
中国专利
:CN1224864C
,2003-07-09
[9]
光刻胶用剥离液和使用该剥离液的光刻胶剥离方法
[P].
横井滋
论文数:
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0
横井滋
;
胁屋和正
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0
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0
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0
胁屋和正
.
中国专利
:CN1244023C
,2003-03-12
[10]
光刻胶剥离液组合物及光刻胶的剥离方法
[P].
许舜范
论文数:
0
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许舜范
;
金炳郁
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金炳郁
;
赵泰杓
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赵泰杓
;
尹锡壹
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尹锡壹
;
郑世桓
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郑世桓
;
张斗瑛
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张斗瑛
;
朴善周
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朴善周
.
中国专利
:CN104781732A
,2015-07-15
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