电感耦合等离子体源的改进

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880055802.9

申请日：

2018-07-10

公开(公告)号：

CN111095475A

公开(公告)日：

2020-05-01

发明(设计)人：

J·罗杰斯 J·普洛斯

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

侯颖媖;张鑫

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20180710
2020-05-01	公开	公开

共 50 条

[1]

电感耦合等离子体源的改进 [P].

J·罗杰斯 ;

J·普洛斯 .

美国专利 :CN116053108B ,2025-09-12

[2]

自清洁电感耦合等离子体源 [P].

卡尔·弗雷德里克·利瑟 ;

凯寒·阿施蒂亚尼 .

美国专利 :CN121241418A ,2025-12-30

[3]

双频直驱电感耦合等离子体源 [P].

龙茂林 ;

王雨后 ;

亚历山大·米勒·帕特森 .

美国专利 :CN114041204B ,2024-12-06

[4]

双频直驱电感耦合等离子体源 [P].

龙茂林 ;

王雨后 ;

亚历山大·米勒·帕特森 .

美国专利 :CN119833382A ,2025-04-15

[5]

双频直驱电感耦合等离子体源 [P].

龙茂林 ;

王雨后 ;

亚历山大·米勒·帕特森 .

中国专利 :CN114041204A ,2022-02-11

[6]

具有电感耦合等离子体源的反应器 [P].

K·C·保罗 ;

T·V·恩古耶 ;

D·凯德拉亚 ;

M·阿瓦米 ;

V·帕蒂尔 ;

S·沙尔玛 .

美国专利 :CN117769754A ,2024-03-26

[7]

一种电感耦合线圈、电感耦合等离子体源及等离子体处理装置 [P].

唐乐 ;

王兆祥 ;

李可 ;

梁洁 ;

彭国发 ;

张朋兵 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN118984520A ,2024-11-19

[8]

一种电感耦合线圈、电感耦合等离子体源及等离子体处理装置 [P].

唐乐 ;

王兆祥 ;

李可 ;

梁洁 ;

彭国发 ;

张朋兵 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN118984520B ,2025-01-24

[9]

一种电感耦合等离子体源 [P].

谢利华 ;

陈特超 ;

李健志 ;

王萍 ;

王玉明 .

中国专利 :CN203690253U ,2014-07-02

[10]

一种电感耦合等离子体源 [P].

李冰妍 .

中国专利 :CN215991317U ,2022-03-08

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