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一种液化型超高纯臭氧制备装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020267874.4
申请日：
2020-03-06
公开(公告)号：
CN213265738U
公开(公告)日：
2021-05-25
发明(设计)人：
方衍编
谢斌平
梅新灵
王辉
范鹏
申请人：
申请人地址：
201900 上海市宝山区顾村工业园区富联二路189号4幢
IPC主分类号：
C01B1311
IPC分类号：
F25J308
代理机构：
上海精晟知识产权代理有限公司 31253
代理人：
姜杉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-25 | 授权 | 授权 |