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晶体管中的栅极结构及其形成方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110083820.1
申请日：
2021-01-21
公开(公告)号：
CN113764411A
公开(公告)日：
2021-12-07
发明(设计)人：
李欣怡
洪正隆
徐志安
申请人：
申请人地址：
中国台湾新竹市
IPC主分类号：
H01L27092
IPC分类号：
H01L218238
代理机构：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258
代理人：
朱亦林
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 27/092 申请日:20210121 |
| 2021-12-07 | 公开 | 公开 |