热处理方法以及热处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480009303.4

申请日：

2004-03-29

公开(公告)号：

CN1771584A

公开(公告)日：

2006-05-10

发明(设计)人：

斋藤孝规芹泽和秀市川贵

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L21205

IPC分类号：

H01L2131 H01L2122 H01L21324

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-06-18	授权	授权
2006-05-10	公开	公开
2017-05-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件序号:101720384342 IPC(主分类):H01L 21/205 专利号:ZL2004800093034 申请日:20040329 授权公告日:20080618 终止日期:20160329 号牌文件类型代码:1605
2006-07-05	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

热处理装置以及热处理方法 [P].

山口达也 ;

伊东俊行 .

中国专利 :CN115148629A ,2022-10-04

[2]

热处理装置以及热处理方法 [P].

胜俣和彦 .

中国专利 :CN102378891A ,2012-03-14

[3]

热处理方法以及热处理装置 [P].

青山敬幸 ;

河原崎光 ;

古川雅志 ;

加藤慎一 ;

布施和彦 ;

谷村英昭 .

中国专利 :CN106486397A ,2017-03-08

[4]

热处理方法以及热处理装置 [P].

谷村英昭 ;

布施和彦 .

中国专利 :CN106340451A ,2017-01-18

[5]

热处理方法以及热处理装置 [P].

中谷淳司 .

日本专利 :CN117983597A ,2024-05-07

[6]

热处理装置以及热处理方法 [P].

吉井弘治 ;

山口达也 ;

王文凌 ;

斋藤孝规 .

中国专利 :CN102737988A ,2012-10-17

[7]

热处理装置以及热处理方法 [P].

上野智宏 ;

三宅浩志 .

日本专利 :CN115831807B ,2025-11-25

[8]

热处理装置以及热处理方法 [P].

新部纯三 ;

中林浩 ;

坂之上隆行 ;

吉弥一希 ;

甲斐浩之 ;

增渕秀司 ;

长太真 .

中国专利 :CN106031301A ,2016-10-12

[9]

热处理方法以及热处理装置 [P].

布施和彦 .

中国专利 :CN106158605A ,2016-11-23

[10]

热处理方法以及热处理装置 [P].

川瀬文俊 ;

柴田聪 .

中国专利 :CN1822321A ,2006-08-23

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