西门子还原沉积硅芯的夹持装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201020678795.9

申请日：

2010-12-24

公开(公告)号：

CN201962356U

公开(公告)日：

2011-09-07

发明(设计)人：

钟真武陈其国

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市高新技术产业开发区昆仑山路68号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

代理机构：

南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204

代理人：

肖明芳

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

西门子法制备多晶硅还原尾气回收系统 [P].

周大荣 .

中国专利 :CN201746333U ,2011-02-16

[2]

一种改进的改良西门子法多晶硅还原炉底盘 [P].

赵丽丽 ;

宋爱利 ;

赵宏月 ;

张胜涛 .

中国专利 :CN106276915A ,2017-01-04

[3]

一种用于西门子法生产多晶硅的还原电极棒 [P].

邱健源 ;

王勃 ;

黄兰香 .

中国专利 :CN202246088U ,2012-05-30

[4]

改良西门子法还原炉提高多晶硅一次沉积率的方法 [P].

沈祖祥 ;

王姗 ;

冉耘瑞 ;

陈建 .

中国专利 :CN105574343A ,2016-05-11

[5]

改良西门子法还原炉提高多晶硅一次沉积率的方法 [P].

沈祖祥 ;

王姗 ;

冉耘瑞 ;

陈建 .

中国专利 :CN105439149A ,2016-03-30

[6]

一种适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉 [P].

陈涵斌 ;

钟真武 ;

陈其国 .

中国专利 :CN201665536U ,2010-12-08

[7]

基于西门子LOGO!的智能鱼缸 [P].

赵虹 ;

戴承柱 ;

钟青志 ;

张瑞芳 .

中国专利 :CN208480490U ,2019-02-12

[8]

一种西门子法生产多晶硅工艺中还原炉的进料喷嘴 [P].

潘玺 ;

燕军 ;

崔建平 .

中国专利 :CN203474466U ,2014-03-12

[9]

用于改良西门子法多晶硅还原生产硅棒的拆棒机械手夹具 [P].

徐顺波 ;

周锶家 ;

肖翔东 ;

吴作木 ;

朱敏 ;

陈小东 ;

袁秋月 ;

谢佳均 ;

李元心 .

中国专利 :CN223188941U ,2025-08-05

[10]

新型多晶硅还原炉用硅芯夹持装置 [P].

钟真武 ;

陈文龙 .

中国专利 :CN201793374U ,2011-04-13

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-04-25	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101334127970 IPC(主分类):C23C 16/458 专利号:ZL2010206787959 变更事项:专利权人变更前权利人:中科协鑫(苏州)工业研究院有限公司变更后权利人:苏州协鑫工业应用研究院有限公司变更事项:地址变更前权利人:215000 江苏省苏州市高新技术产业开发区昆仑山路68号变更后权利人:215000 江苏省苏州市工业园区时代广场24幢1901室登记生效日:20120314
2011-09-07	授权	授权
2016-08-10	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101737117985 IPC(主分类):C23C 16/458 专利号:ZL2010206787959 登记生效日:20160721 变更事项:专利权人变更前权利人:江苏中能硅业科技发展有限公司变更后权利人:江苏鑫华半导体材料科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:221004 江苏省徐州市经济开发区杨山路66号变更后权利人:221004 江苏省徐州市经济开发区杨山路66号变更事项:专利权人变更前权利人:苏州协鑫工业应用研究院有限公司变更后权利人:无
2013-02-27	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101523196285 IPC(主分类):C23C 16/458 专利号:ZL2010206787959 变更事项:专利权人变更前权利人:苏州协鑫工业应用研究院有限公司变更后权利人:江苏中能硅业科技发展有限公司变更事项:地址变更前权利人:215000 江苏省苏州市工业园区时代广场24幢1901室变更后权利人:221004 江苏省徐州市经济开发区杨山路66号变更事项:专利权人变更前权利人:无变更后权利人:苏州协鑫工业应用研究院有限公司登记生效日:20130124
2021-01-12	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20101224 授权公告日:20110907