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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-03-27 | 授权 | 授权 |
| 2012-02-29 | 著录事项变更 | 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101289333335 IPC(主分类):C23C 4/12 专利申请号:2011101509706 变更事项:发明人 变更前:刘耀东;刘威;宫文彪 变更后:宫文彪;李于朋 |
| 2011-12-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101149128264 IPC(主分类):C23C 4/12 专利申请号:2011101509706 申请日:20110607 |
| 2011-10-12 | 公开 | 公开 |