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连续真空镀膜装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201220026578.0
申请日：
2012-01-20
公开(公告)号：
CN202482431U
公开(公告)日：
2012-10-10
发明(设计)人：
史旭
申请人：
申请人地址：
201700 上海市青浦区青浦工业园区华纺路99弄99号2幢1层A区
IPC主分类号：
C23C1456
IPC分类号：
代理机构：
上海东亚专利商标代理有限公司 31208
代理人：
罗习群;刘莹
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-11 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20120120 授权公告日:20121010 |
| 2012-10-10 | 授权 | 授权 |