一种光刻机用碳化硅移动平台制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610561227.2

申请日：

2016-07-18

公开(公告)号：

CN107628815A

公开(公告)日：

2018-01-26

发明(设计)人：

曹剑武徐正平徐乃安龙成勇

申请人：

申请人地址：

225265 江苏省扬州市江都区真武镇真扬路10号

IPC主分类号：

C04B35565

IPC分类号：

C04B35622

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

奚衡宝

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-26	公开	公开
2020-02-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C04B 35/565 申请公布日:20180126

共 50 条

[1]

一种碳化硅陶瓷阀门及其制备方法 [P].

曹剑武 ;

徐正平 ;

徐乃安 ;

龙成勇 .

中国专利 :CN107628814A ,2018-01-26

[2]

一种碳化硅精细陶瓷用碳化硅微粉及其制备方法 [P].

刘骏 ;

蔡璐 ;

刘波 ;

王钢 ;

汪国雄 ;

张海波 .

中国专利 :CN111606713A ,2020-09-01

[3]

碳化硅精细陶瓷用碳化硅微粉的制备方法 [P].

刘成文 ;

于雪梅 ;

冯立超 ;

郭世杰 .

中国专利 :CN103553625B ,2014-02-05

[4]

碳化硅精细陶瓷用碳化硅微粉的制备方法 [P].

顾文华 ;

顾旭 ;

徐世杰 ;

万立斌 .

中国专利 :CN108752003B ,2018-11-06

[5]

一种碳化硅陶瓷及其制备方法 [P].

李华民 ;

张慧 ;

王力 ;

李靖晗 ;

包根平 .

中国专利 :CN116789454B ,2024-01-02

[6]

一种玻璃模造用碳化硅模具的制造方法及碳化硅模具 [P].

闫永杰 ;

姚玉玺 .

中国专利 :CN113526961A ,2021-10-22

[7]

一种碳化硅材料制备方法、碳化硅材料及碳化硅部件 [P].

杜宗伟 ;

杨佐东 ;

罗春 ;

陈欣 ;

张文平 .

中国专利 :CN120138603A ,2025-06-13

[8]

一种无压烧结碳化硅制品用碳化硅微粉的制备方法 [P].

徐明 .

中国专利 :CN106699186A ,2017-05-24

[9]

一种碳化硅防弹陶瓷及其制备方法 [P].

王斌 ;

侯靖媛 ;

王晨皎 ;

刘鹏 ;

李慧 ;

黄凯 ;

景常龙 .

中国专利 :CN118005404B ,2025-12-02

[10]

一种碳化硅防弹陶瓷及其制备方法 [P].

王斌 ;

侯靖媛 ;

王晨皎 ;

刘鹏 ;

李慧 ;

黄凯 ;

景常龙 .

中国专利 :CN118005404A ,2024-05-10

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