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一种基于双层传输线结构的硅基电光调制器行波电极及其制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110638960.0
申请日：
2021-06-08
公开(公告)号：
CN113552735A
公开(公告)日：
2021-10-26
发明(设计)人：
孔繁敏
杨琳婕
申请人：
申请人地址：
250199 山东省济南市历城区山大南路27号
IPC主分类号：
G02F1025
IPC分类号：
代理机构：
济南金迪知识产权代理有限公司 37219
代理人：
陈桂玲
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G02F 1/025 申请日:20210608 |
| 2021-10-26 | 公开 | 公开 |