用于材料的汽化和供给装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN98120573.9

申请日：

1998-09-30

公开(公告)号：

CN1110582C

公开(公告)日：

1999-06-16

发明(设计)人：

高松勇吉米山岳夫石滨义康

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

H01L21205

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

陈季壮

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
1999-06-16	公开	公开
2000-11-15	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2005-11-30	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止
2003-06-04	授权	授权

共 50 条

[1]

液体材料汽化及供给装置 [P].

土岐育男 .

中国专利 :CN1333106C ,2004-01-07

[2]

原料的汽化供给装置 [P].

日高敦志 ;

平田薰 ;

永濑正明 ;

土肥亮介 ;

西野功二 ;

池田信一 .

中国专利 :CN103493181B ,2014-01-01

[3]

液体材料汽化供给装置和计算机可读存储介质 [P].

宫本英显 .

中国专利 :CN110382103B ,2019-10-25

[4]

用于汽化材料的装置 [P].

斯蒂芬·海因 ;

冈特·克莱姆 ;

彼得·斯库克 .

中国专利 :CN1776007A ,2006-05-24

[5]

液氩汽化供给装置 [P].

徐炳印 .

中国专利 :CN102352962A ,2012-02-15

[6]

液氩汽化供给装置 [P].

徐炳印 .

中国专利 :CN202252847U ,2012-05-30

[7]

用于汽化和递送经汽化源材料的汽化器组合件 [P].

D·J·埃尔德里奇 ;

J·M·克利里 ;

J·托马斯 ;

S·L·巴特尔 ;

T·查特顿 ;

J·格雷格 ;

B·C·亨德里克斯 ;

T·鲍姆 .

中国专利 :CN209989463U ,2020-01-24

[8]

用于电子蒸汽装置的汽化材料处理 [P].

约翰·卡梅伦 .

中国专利 :CN108348002A ,2018-07-31

[9]

液体材料供给装置 [P].

水村通伸 .

中国专利 :CN101039758A ,2007-09-19

[10]

用于将供给材料从用于供给材料的料仓供给至熔炼炉的炉空间中的方法和装置 [P].

A·拉尼宁 ;

E·米耶蒂宁 ;

P·比约克伦德 .

中国专利 :CN105431714A ,2016-03-23

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