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一种芯片位置校正装置
被引：0
申请号：
CN202123140931.6
申请日：
2021-12-14
公开(公告)号：
CN216488001U
公开(公告)日：
2022-05-10
发明(设计)人：
詹鑫源
申请人：
申请人地址：
518101 广东省深圳市宝安区西乡街道龙腾社区107国道润东晟工业区13栋6层
IPC主分类号：
H01L2168
IPC分类号：
代理机构：
无锡智麦知识产权代理事务所(普通合伙) 32492
代理人：
宋春荣
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-05-10 | 授权 | 授权 |