光刻胶供应装置和光刻胶供应系统

被引：0

申请号：

CN202221751441.1

申请日：

2022-07-08

公开(公告)号：

CN217767184U

公开(公告)日：

2022-11-08

发明(设计)人：

徐阳余坚纪开勋杜龙李晨

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路51号院1号楼5层516

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

代理机构：

北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739

代理人：

王乾旭

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-08	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻胶供应装置 [P].

王俊 ;

唐建峰 ;

程亮 ;

刘智波 .

中国专利 :CN101398626B ,2009-04-01

[2]

光刻胶喷嘴器件和光刻胶供应系统 [P].

曾国书 ;

陈有峰 ;

陈彦羽 .

中国专利 :CN104730866A ,2015-06-24

[3]

光刻胶喷嘴器件和光刻胶供应系统 [P].

曾国书 ;

陈有峰 ;

陈彦羽 .

中国专利 :CN113917787A ,2022-01-11

[4]

光刻胶供应系统 [P].

殷瑞腾 ;

周雪松 ;

刘贤杰 ;

杨方 ;

薛佳豪 .

中国专利 :CN223530667U ,2025-11-11

[5]

光刻胶供应装置 [P].

崔理选 .

中国专利 :CN220907104U ,2024-05-07

[6]

光刻胶供应装置 [P].

杨伟靖 .

中国专利 :CN211207071U ,2020-08-07

[7]

挤压装置、光刻胶供应系统以及光刻胶供应方法 [P].

李生骄 ;

董佳仁 .

中国专利 :CN113655691A ,2021-11-16

[8]

光刻胶供应装置及系统 [P].

胡鹏飞 ;

刘开来 ;

徐纯 .

中国专利 :CN204129434U ,2015-01-28

[9]

光刻胶供应系统及方法 [P].

刘顺财 .

中国专利 :CN1286150C ,2004-06-30

[10]

一种光刻胶供应系统 [P].

陈卫军 ;

欧阳增图 ;

刘凌海 .

中国专利 :CN221993767U ,2024-11-12

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