一种运动解耦的XY向精密定位平台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920045711.5

申请日：

2009-05-15

公开(公告)号：

CN201397813Y

公开(公告)日：

2010-02-03

发明(设计)人：

张志胜郑建勇史金飞陈芳柳俊

申请人：

申请人地址：

210096江苏省南京市四牌楼2号

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司

代理人：

陆志斌

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-02-03	授权	授权
2017-06-30	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101730761853 IPC(主分类):H01L 21/68 专利号:ZL2009200457115 申请日:20090515 授权公告日:20100203 终止日期:20160515

共 50 条

[1]

一种运动解耦的XY向精密定位平台 [P].

张志胜 ;

郑建勇 ;

史金飞 ;

陈芳 ;

柳俊 .

中国专利 :CN101556933A ,2009-10-14

[2]

一种基于解耦机构的精密运动平台 [P].

王敕 .

中国专利 :CN201792208U ,2011-04-13

[3]

一种可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台 [P].

甘金强 ;

张俊仓 .

中国专利 :CN110729019A ,2020-01-24

[4]

一种可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台 [P].

甘金强 ;

张俊仓 .

中国专利 :CN110729019B ,2025-05-16

[5]

一种可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台 [P].

甘金强 ;

张俊仓 .

中国专利 :CN210865635U ,2020-06-26

[6]

一种电磁预紧XY精密运动平台 [P].

刘延杰 ;

宋磊 ;

刘扭扭 .

中国专利 :CN102723298A ,2012-10-10

[7]

一种XY精密定位平台 [P].

于连栋 ;

夏豪杰 ;

赵会宁 ;

刘宁宁 ;

贾华坤 ;

姜一舟 .

中国专利 :CN105443930A ,2016-03-30

[8]

一种可实现运动解耦的大行程两自由度柔顺精密定位平台 [P].

甘金强 ;

张俊仓 .

中国专利 :CN110729020B ,2025-09-12

[9]

一种可实现运动解耦的大行程两自由度柔顺精密定位平台 [P].

甘金强 ;

张俊仓 .

中国专利 :CN210865634U ,2020-06-26

[10]

一种可实现运动解耦的大行程两自由度柔顺精密定位平台 [P].

甘金强 ;

张俊仓 .

中国专利 :CN110729020A ,2020-01-24

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