一种电容式三轴微陀螺仪

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120442964.3

申请日：

2011-11-10

公开(公告)号：

CN202329635U

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

孙博华邵长治王琳孙明

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区中关村东路1号院8号楼B501C

IPC主分类号：

G01C195656

IPC分类号：

代理机构：

北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350

代理人：

汤东凤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-11	授权	授权
2021-11-26	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):G01C 19/5656 申请日:20111110 授权公告日:20120711

共 50 条

[1]

一种电容式三轴微陀螺仪 [P].

孙博华 ;

邵长治 ;

王琳 ;

孙明 .

中国专利 :CN103105165A ,2013-05-15

[2]

电容式三轴微陀螺仪的硅外延制造方法 [P].

孙博华 ;

邵长治 ;

王琳 ;

孙明 ;

周源 ;

覃昭君 ;

王乐 ;

郭伟恒 .

中国专利 :CN103121658B ,2013-05-29

[3]

静电驱动电容检测三轴微陀螺仪 [P].

张卫平 ;

关冉 ;

陈文元 ;

孙永明 ;

吴校生 ;

崔峰 ;

刘武 .

中国专利 :CN102353371A ,2012-02-15

[4]

一种单轴MEMS电容式陀螺仪 [P].

郭梅寒 .

中国专利 :CN203704940U ,2014-07-09

[5]

一种Z轴MEMS电容式陀螺仪 [P].

郭梅寒 ;

邹波 .

中国专利 :CN203587114U ,2014-05-07

[6]

一种Z轴MEMS电容式陀螺仪 [P].

郭梅寒 ;

邹波 .

中国专利 :CN103528577B ,2014-01-22

[7]

三轴陀螺仪 [P].

孙秀延 ;

李云 ;

王宜博 .

中国专利 :CN223346188U ,2025-09-16

[8]

具有环形弹簧的三轴微陀螺仪 [P].

金成旭 .

中国专利 :CN106233091A ,2016-12-14

[9]

微陀螺仪 [P].

亚历桑德鲁·罗基 .

中国专利 :CN102077054B ,2011-05-25

[10]

一种三轴陀螺仪 [P].

丁希聪 ;

凌方舟 ;

蒋乐跃 ;

黄黎 .

中国专利 :CN215338348U ,2021-12-28

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