一种用于管状靶材制备的内旋转高温烧结装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201810466187.2
申请日
2018-05-16
公开(公告)号
CN108826961A
公开(公告)日
2018-11-16
发明(设计)人
舒永春 吴敦元 陈杰 孙本双 曾学云
申请人
申请人地址
450001 河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号
IPC主分类号
F27B504
IPC分类号
F27B506 F27B508 F27D100 F27D106 F27D312 F27D9900
代理机构
北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557
代理人
唐维铁
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种用于管状靶材制备的微波混合加热内旋转烧结装置 [P]. 
舒永春 ;
吴敦元 ;
陈杰 ;
孙本双 ;
曾学云 .
中国专利 :CN108895828A ,2018-11-27
[2]
一种管状靶材的内旋转高温烧结方法 [P]. 
舒永春 ;
陈杰 ;
孙本双 ;
曾学云 ;
刘洋 .
中国专利 :CN108409340A ,2018-08-17
[3]
一种管状靶材的微波混合加热内旋转高温烧结方法 [P]. 
舒永春 ;
陈杰 ;
孙本双 ;
曾学云 ;
刘洋 .
中国专利 :CN108530087A ,2018-09-14
[4]
一种管状ITO靶材的高温离心烧结装置及其烧结方法 [P]. 
张科 ;
陈钦忠 ;
谈耀宏 ;
陈峥铭 ;
卢桂林 .
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[5]
管状靶材烧结辅助装置 [P]. 
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莫斌 ;
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宋春华 ;
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中国专利 :CN220380272U ,2024-01-23
[6]
一种用于管状靶材的真空烧结系统 [P]. 
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[7]
一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置 [P]. 
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[8]
一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置 [P]. 
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[9]
一种ITO旋转靶材烧结防护装置 [P]. 
张启华 ;
代立鑫 ;
姚远 .
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[10]
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骆树立 ;
王建堂 ;
骆如河 ;
骆胜华 ;
骆胜磊 ;
骆利军 ;
王壮伟 ;
骆胜凯 ;
骆胜喜 .
中国专利 :CN218380485U ,2023-01-24