应力匹配的双材料微悬臂梁的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210024934.X

申请日：

2012-02-06

公开(公告)号：

CN103241706B

公开(公告)日：

2013-08-14

发明(设计)人：

尚海平焦斌斌刘瑞文陈大鹏李志刚卢迪克

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3#

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

C23C1640 C23C1644

代理机构：

北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345

代理人：

陈红

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-29	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B81C 1/00 登记生效日:20201216 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院微电子研究所变更后权利人:澳芯集成电路技术（广东）有限公司变更事项:地址变更前权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3# 变更后权利人:510000 广东省广州市黄浦区开源大道136号A栋601
2016-05-18	授权	授权
2022-05-13	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B81C 1/00 登记生效日:20220429 变更事项:专利权人变更前权利人:澳芯集成电路技术（广东）有限公司变更后权利人:锐立平芯微电子（广州）有限责任公司变更事项:地址变更前权利人:510000 广东省广州市黄浦区开源大道136号A栋601 变更后权利人:510000 广东省广州市黄埔区开发大道348号建设大厦710室
2014-03-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101573931135 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:201210024934X 申请日:20120206
2013-08-14	公开	公开

共 50 条

[1]

双材料悬臂梁应力匹配方法 [P].

刘瑞文 ;

焦斌斌 ;

李志刚 ;

陈大鹏 .

中国专利 :CN103449356B ,2013-12-18

[2]

应力匹配的悬臂梁结构及其制造方法 [P].

焦斌斌 ;

刘瑞文 ;

李志刚 ;

孔延梅 ;

陈大鹏 .

中国专利 :CN104229726A ,2014-12-24

[3]

双材料微悬臂梁、电磁辐射探测器 [P].

姜利军 .

中国专利 :CN202924718U ,2013-05-08

[4]

单层双材料微悬臂梁热隔离焦平面阵列的制作方法 [P].

李超波 ;

陈大鹏 ;

叶甜春 ;

王玮冰 .

中国专利 :CN100396593C ,2006-12-27

[5]

双材料微悬臂梁、电磁辐射探测器以及探测方法 [P].

姜利军 .

中国专利 :CN102874735B ,2013-01-16

[6]

双材料微悬臂梁与超表面复合的红外探测器及其制备方法 [P].

唐明华 ;

张庆渝 ;

秦广照 ;

纪萍 .

中国专利 :CN120352031A ,2025-07-22

[7]

基于双微悬臂梁结构的微型镊子 [P].

李艳宁 ;

胡春光 ;

唐洁 ;

赵倩云 ;

王忠顺 ;

宋丽薇 ;

肖松山 ;

傅星 ;

胡小唐 .

中国专利 :CN1616195A ,2005-05-18

[8]

一种基于双材料微悬臂梁的辐射热通量测量装置 [P].

王喜世 ;

陶常法 ;

刘冰 .

中国专利 :CN102288300B ,2011-12-21

[9]

张应力 LPCVD SiO2膜的制造方法 [P].

尚海平 ;

焦斌斌 ;

刘瑞文 ;

陈大鹏 ;

李志刚 ;

卢迪克 .

中国专利 :CN103183307A ,2013-07-03

[10]

微悬臂梁粘附特性的检测方法 [P].

唐洁影 ;

吕劲楠 ;

黄庆安 .

中国专利 :CN101017109A ,2007-08-15

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