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UV‑LED光源、系统及平行曝光机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201621185518.8
申请日：
2016-10-28
公开(公告)号：
CN206573849U
公开(公告)日：
2017-10-20
发明(设计)人：
陈建军
孙秀辉
杨若夫
蔡文涛
尹韶云
申请人：
申请人地址：
215600 江苏省苏州市张家港市大新镇海坝路科创园张家港奇点光电科技有限公司
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 32304
代理人：
汤婷
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-10-20 | 授权 | 授权 |