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用于质量流量控制器的填充件及质量流量控制器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910584898.4
申请日：
2019-07-01
公开(公告)号：
CN110209210A
公开(公告)日：
2019-09-06
发明(设计)人：
杜井庆
苏乾益
何漫丽
申请人：
申请人地址：
100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号1幢506室
IPC主分类号：
G05D706
IPC分类号：
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
彭瑞欣;张天舒
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-10-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 7/06 申请日:20190701 |
| 2019-09-06 | 公开 | 公开 |