一种偏振同步移相干涉测量装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011254418.7

申请日：

2020-11-11

公开(公告)号：

CN112344878B

公开(公告)日：

2021-02-09

发明(设计)人：

郝群胡摇宁妍吕佳航刘一鸣

申请人：

申请人地址：

100081 北京市海淀区中关村南大街5号北京理工大学

IPC主分类号：

G01B1124

IPC分类号：

G01B902 G01B902055

代理机构：

北京市中闻律师事务所 11388

代理人：

冯梦洪

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-22	授权	授权
2021-03-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20201111
2021-02-09	公开	公开

共 50 条

[1]

一种动态双波长移相干涉测量装置和测量方法 [P].

刘世杰 ;

鲁棋 ;

周游 ;

白云波 ;

徐天柱 ;

倪开灶 ;

邵建达 .

中国专利 :CN111947592B ,2020-11-17

[2]

同步移相干涉测量系统 [P].

林燕彬 .

中国专利 :CN204854620U ,2015-12-09

[3]

一种共光路偏振点衍射同步移相干涉系统及方法 [P].

卢乾波 ;

冯文露 ;

刘诚修 ;

肖清雄 ;

王逸男 ;

王小旭 .

中国专利 :CN114719741B ,2024-01-30

[4]

一种共光路偏振点衍射同步移相干涉系统及方法 [P].

卢乾波 ;

冯文露 ;

刘诚修 ;

肖清雄 ;

王逸男 ;

王小旭 .

中国专利 :CN114719741A ,2022-07-08

[5]

一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪 [P].

王腾远 ;

茹媛 ;

徐潇雅 ;

高怡雯 ;

武佳美 ;

秦朝朝 .

中国专利 :CN208595878U ,2019-03-12

[6]

一种基于同步移相干涉技术的纳米测量仪 [P].

秦朝朝 ;

王腾远 ;

武佳美 ;

茹媛 ;

徐潇雅 ;

高怡雯 .

中国专利 :CN108955516A ,2018-12-07

[7]

分光同步移相干涉显微检测装置及检测方法 [P].

单明广 ;

钟志 ;

郝本功 ;

张雅彬 ;

窦峥 ;

刁鸣 .

中国专利 :CN102914257A ,2013-02-06

[8]

光栅分光式同步移相干涉测量装置及方法 [P].

黄向东 ;

向小燕 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN104964649B ,2015-10-07

[9]

利用同步移相干涉方法测量光学相位的方法及实现光路 [P].

刘世炳 ;

贺雪鹏 .

中国专利 :CN101776488A ,2010-07-14

[10]

一种非机械式快速移相干涉测量装置及方法 [P].

徐林 ;

徐雪 ;

梁锡彤 .

中国专利 :CN118224968A ,2024-06-21

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