一种抛光台温度控制装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821726295.0

申请日：

2018-10-24

公开(公告)号：

CN208929947U

公开(公告)日：

2019-06-04

发明(设计)人：

方明喜肖学才常强

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山开发区前进路南侧

IPC主分类号：

B24B2900

IPC分类号：

B24B5500 F24H920

代理机构：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种抛光台温度控制装置 [P].

符智慧 ;

符张波 ;

史博鑫 .

中国专利 :CN216098356U ,2022-03-22

[2]

温度控制装置 [P].

夏云华 ;

赵留强 ;

王小强 ;

高枫 ;

彭强 ;

韩洪伟 ;

张辉 ;

许云龙 ;

闻莹莹 ;

穆凯 ;

宋胜田 ;

徐志强 ;

王磊 .

中国专利 :CN204220413U ,2015-03-25

[3]

一种温度控制装置 [P].

夏云华 ;

赵留强 ;

王小强 ;

高枫 ;

彭强 ;

韩洪伟 ;

张辉 ;

许云龙 ;

闻莹莹 ;

穆凯 ;

宋胜田 ;

徐志强 ;

王磊 .

中国专利 :CN104368504A ,2015-02-25

[4]

一种温度控制装置 [P].

杨文奇 ;

李振平 ;

陈丽华 .

中国专利 :CN202916728U ,2013-05-01

[5]

一种温度控制装置 [P].

张孝然 ;

梁艳茹 ;

于波 .

中国专利 :CN210741236U ,2020-06-12

[6]

一种晶片抛光液温度控制装置 [P].

高萌 .

中国专利 :CN222177289U ,2024-12-17

[7]

一种智能温度控制装置 [P].

王绍芳 .

中国专利 :CN213020513U ,2021-04-20

[8]

化学机械抛光设备用抛光台温度控制装置 [P].

王东辉 ;

郭强生 ;

柳滨 ;

王伟 .

中国专利 :CN201524951U ,2010-07-14

[9]

一种液体冷却温度控制装置 [P].

丁强 ;

姜周曙 .

中国专利 :CN201212760Y ,2009-03-25

[10]

一种电力调度工作台温度控制装置 [P].

张辉 ;

刘传良 ;

乔立同 ;

马强 ;

赵选宗 ;

孙其振 ;

刘铭超 ;

刘世超 ;

王进 ;

王银照 ;

汪挺 ;

陈文栋 ;

王晓鹏 ;

李图强 .

中国专利 :CN207765858U ,2018-08-24

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