一种制作纳米级图形的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710177797.2

申请日：

2007-11-21

公开(公告)号：

CN101441410A

公开(公告)日：

2009-05-27

发明(设计)人：

傅剑宇陈大鹏景玉鹏欧毅叶甜春

申请人：

申请人地址：

100029北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

周国城

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-05-27	公开	公开
2011-12-07	授权	授权
2009-07-22	实质审查的生效	实质审查的生效
2016-08-03	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101736663203 IPC(主分类):G03F 7/00 专利号:ZL2007101777972 登记生效日:20160713 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院微电子研究所变更后权利人:新疆中科丝路物联科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3号变更后权利人:830002 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐经济技术开发区喀什西路499号龙海置业综合楼628室

共 50 条

[1]

纳米级空隙的减小 [P].

J·J-J·胡 ;

G·高兹纳 ;

T·L·格林伯格 .

中国专利 :CN104684710A ,2015-06-03

[2]

一种纳米级锡粉制备方法 [P].

柴立新 ;

汪艳春 .

中国专利 :CN112719276A ,2021-04-30

[3]

一种纳米级镍粉干法分散的方法 [P].

赵登永 ;

王光杰 ;

吕文慧 .

中国专利 :CN104493157A ,2015-04-08

[4]

一种纳米级库仑岛结构的制备方法 [P].

龙世兵 ;

陈杰智 ;

李志刚 ;

刘明 ;

陈宝钦 .

中国专利 :CN101086966A ,2007-12-12

[5]

一种制作百纳米级螺线管或网状结构的方法 [P].

李金儒 ;

赵珉 ;

王琴 ;

刘明 ;

陈宝钦 .

中国专利 :CN101276149A ,2008-10-01

[6]

纳米级球形硅粉的生产方法 [P].

赵登永 ;

陈钢强 ;

王光杰 ;

陆永波 ;

潘经珊 .

中国专利 :CN102951643A ,2013-03-06

[7]

一种高纯度纳米级氧化锂的制备方法 [P].

严新星 ;

邓红云 ;

陈格 .

中国专利 :CN109336139A ,2019-02-15

[8]

一种合成纳米级磷酸铁锂粉体的方法 [P].

彭忠东 ;

胡国荣 ;

高旭光 ;

杜柯 ;

李劼 ;

刘业翔 .

中国专利 :CN1958440A ,2007-05-09

[9]

一种纳米尺度图形的制作方法 [P].

赵珉 ;

陈宝钦 ;

刘明 ;

牛洁斌 .

中国专利 :CN101382733A ,2009-03-11

[10]

一种光学模具表面纳米级镀膜装置 [P].

裴绪杨 ;

彭建 .

中国专利 :CN118497691A ,2024-08-16

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