锡化合物、用于形成含锡层的锡前体化合物以及使用其形成薄层的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201911395054.1
申请日
2019-12-30
公开(公告)号
CN111471068A
公开(公告)日
2020-07-31
发明(设计)人
柳承旻 金铭云 金润洙 李相益 林载顺 曹仑廷 赵峻希 蔡元默
申请人
申请人地址
韩国京畿道
IPC主分类号
C07F722
IPC分类号
C23C1618
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
贺卫国
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
锡化合物及其合成方法、用于原子层沉积的锡前体化合物及形成含锡材料膜的方法 [P]. 
柳承旻 ;
金润洙 ;
林载顺 ;
曹仑廷 ;
金铭云 ;
李相益 ;
全相勇 ;
李刚镛 .
中国专利 :CN108149222A ,2018-06-12
[2]
用于薄膜沉积的有机锡化合物和用该化合物形成含锡薄膜的方法 [P]. 
沈樟根 ;
池成俊 ;
李太荣 ;
金信范 ;
白善英 ;
林泰焕 ;
李东均 ;
李尙炫 ;
千寿弼 .
中国专利 :CN115490720A ,2022-12-20
[3]
含锡化合物 [P]. 
艾玛·肯德里克 ;
罗伯特·格鲁阿尔 ;
西岛主明 ;
水畑宏隆 ;
大谷拓也 ;
浅子功 ;
上村雄一 .
中国专利 :CN107074579A ,2017-08-18
[4]
含锡的化合物 [P]. 
艾玛·肯德里克 ;
罗伯特·格鲁阿尔 .
中国专利 :CN107848837A ,2018-03-27
[5]
烷基锡化合物 [P]. 
三宅信寿 ;
篠畑雅亮 ;
西山布迪安托 ;
大久保敦史 .
中国专利 :CN105579461B ,2016-05-11
[6]
高纯度锡化合物、其保存方法和制造方法以及使用其的锡水解物、锡水解物溶液、锡水解物薄膜 [P]. 
早志功一 ;
日置优太 .
日本专利 :CN120659796A ,2025-09-16
[7]
有机锡化合物、其制备方法及使用该有机锡化合物制备聚交酯的方法 [P]. 
李仁秀 ;
尹性澈 ;
朴胜莹 ;
金成宇 ;
都暎圭 ;
李康文 .
中国专利 :CN102596973B ,2012-07-18
[8]
含有锡化合物的组合物 [P]. 
奥古斯特·席勒 ;
诺尔曼·多施 ;
维尔讷·格拉夫 ;
阿洛伊斯·施特拉塞尔 .
中国专利 :CN1072429A ,1993-05-26
[9]
一种烷基锡化合物或苄基锡化合物的制备方法 [P]. 
王剑波 ;
邱頔 ;
徐帅 ;
孟赫 ;
张艳 .
中国专利 :CN106478714A ,2017-03-08
[10]
含锡的有机金属化合物 [P]. 
D·法布里亚克 ;
C·康诺瓦 ;
S·塞姆贝拉 ;
C·坎贝尔 .
加拿大专利 :CN119365470A ,2025-01-24