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一种多工位超高真空排气台
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023256238.0
申请日：
2020-12-29
公开(公告)号：
CN213988808U
公开(公告)日：
2021-08-17
发明(设计)人：
杨超
申请人：
申请人地址：
430000 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区黄龙山北路4号(三工光电产业园)2号楼2层东面2号(一址多照)
IPC主分类号：
H01J9385
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-17 | 授权 | 授权 |