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一种实验室用蚀刻装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201620573569.1
申请日：
2016-06-13
公开(公告)号：
CN205710922U
公开(公告)日：
2016-11-23
发明(设计)人：
张本汉
申请人：
申请人地址：
341600 江西省赣州市信丰县工业园区诚信大道
IPC主分类号：
C23F108
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 32261
代理人：
赵丽丽
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-11-23 | 授权 | 授权 |