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一种清理单晶炉中排气管的装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201821402807.8
申请日
:
2018-08-29
公开(公告)号
:
CN208912734U
公开(公告)日
:
2019-05-31
发明(设计)人
:
王建平
刘学
申请人
:
申请人地址
:
010070 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区阿木尔南街19号
IPC主分类号
:
B08B9087
IPC分类号
:
B08B9093
代理机构
:
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213
代理人
:
栾志超
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2019-05-31
授权
授权
共 50 条
[1]
一种单晶炉排气管
[P].
王会敏
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王会敏
;
何京辉
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何京辉
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曹祥瑞
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曹祥瑞
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颜超
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颜超
;
周子江
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周子江
;
赵贝
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赵贝
;
陈二星
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陈二星
.
中国专利
:CN205711048U
,2016-11-23
[2]
单晶炉排气管除尘装置
[P].
袁玉平
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袁玉平
.
中国专利
:CN211005721U
,2020-07-14
[3]
一种单晶炉排气管道的清理装置
[P].
张国峰
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张国峰
;
刘瑞强
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刘瑞强
;
穆光裕
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穆光裕
.
中国专利
:CN217438344U
,2022-09-16
[4]
单晶炉排气管及其单晶炉
[P].
连强
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苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
连强
;
尹耀文
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机构:
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
尹耀文
;
姜勇
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机构:
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
姜勇
;
吴廷廷
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机构:
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
吴廷廷
.
中国专利
:CN222729961U
,2025-04-08
[5]
一种便于清理单晶炉排气通道的清灰装置及排气管
[P].
刘奇
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机构:
中山市浩晨科技有限公司
中山市浩晨科技有限公司
刘奇
.
中国专利
:CN222607451U
,2025-03-14
[6]
一种单晶炉排气管疏通装置
[P].
宗顺顺
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宗顺顺
;
王龙
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王龙
;
龚连鹤
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龚连鹤
;
关培海
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关培海
;
朱万超
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朱万超
.
中国专利
:CN208527571U
,2019-02-22
[7]
一种单晶炉排气管结构及单晶炉
[P].
周小东
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周小东
;
马伟萍
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马伟萍
;
乔乐
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乔乐
;
刘学金
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刘学金
;
杨家辉
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杨家辉
.
中国专利
:CN213266780U
,2021-05-25
[8]
阻碍单晶炉中排出的尾气氧化沉积的排气管及单晶炉
[P].
杨宗川
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机构:
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
杨宗川
;
马玉怀
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机构:
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
马玉怀
;
杨凯
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宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
杨凯
;
王黎光
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宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
王黎光
;
芮阳
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宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
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芮阳
;
曹启刚
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宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
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曹启刚
.
中国专利
:CN119956496A
,2025-05-09
[9]
单晶炉排气管道清理装置、方法及单晶炉
[P].
伊冉
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机构:
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
伊冉
;
张友海
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机构:
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
张友海
;
杨凯
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宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
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杨凯
;
芮阳
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机构:
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
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芮阳
;
王黎光
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宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
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王黎光
;
曹启刚
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机构:
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
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曹启刚
;
蔡瑞
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宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
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蔡瑞
;
万佳乐
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机构:
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
万佳乐
.
中国专利
:CN120714975A
,2025-09-30
[10]
一种用于在线清理单晶炉排气管道的装置
[P].
张野
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张野
;
马伟萍
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马伟萍
;
乔乐
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乔乐
;
张晶晶
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张晶晶
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中国专利
:CN213051918U
,2021-04-27
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