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一种动态校准的扫描式UV曝光光源系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810573180.0
申请日：
2018-06-06
公开(公告)号：
CN108535970A
公开(公告)日：
2018-09-14
发明(设计)人：
涂刚峰
申请人：
申请人地址：
510000 广东省广州市高新技术产业开发区东明二路5号A座415房
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350
代理人：
陈正兴
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-09-14 | 公开 | 公开 |
| 2018-10-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180606 |