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用于液滴沉积装置的方法、装置和控制系统
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202080023472.2
申请日
:
2020-04-09
公开(公告)号
:
CN113613910A
公开(公告)日
:
2021-11-05
发明(设计)人
:
J·加西亚马扎
奈杰尔·希瑟
托马斯·塞尔尼
彼得·波尔特里克
马里奥·玛苏奇
申请人
:
申请人地址
:
英国剑桥郡
IPC主分类号
:
B41J201
IPC分类号
:
B41J207
B41J2938
B41M500
代理机构
:
北京安信方达知识产权代理有限公司 11262
代理人
:
齐加文;杨明钊
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-11-05
公开
公开
2022-04-12
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):B41J 2/01 申请日:20200409
共 50 条
[1]
用于液滴沉积的方法和装置
[P].
伦佐·特里普
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
赛尔科技有限公司
赛尔科技有限公司
伦佐·特里普
;
尼古拉斯·马克·杰克逊
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
赛尔科技有限公司
赛尔科技有限公司
尼古拉斯·马克·杰克逊
;
沃尔夫冈·沃特
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
赛尔科技有限公司
赛尔科技有限公司
沃尔夫冈·沃特
.
英国专利
:CN119317541B
,2025-12-02
[2]
用于液滴沉积的方法和装置
[P].
伦佐·特里普
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
赛尔科技有限公司
赛尔科技有限公司
伦佐·特里普
;
尼古拉斯·马克·杰克逊
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
赛尔科技有限公司
赛尔科技有限公司
尼古拉斯·马克·杰克逊
;
沃尔夫冈·沃特
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
赛尔科技有限公司
赛尔科技有限公司
沃尔夫冈·沃特
.
英国专利
:CN119317541A
,2025-01-14
[3]
液滴沉积方法和装置
[P].
尼古拉斯·马克·杰克逊
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
尼古拉斯·马克·杰克逊
;
安格斯·康蒂
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
安格斯·康蒂
.
中国专利
:CN113665247A
,2021-11-19
[4]
液滴沉积装置
[P].
马里奥·玛苏奇
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
马里奥·玛苏奇
.
中国专利
:CN109414930B
,2019-03-01
[5]
用于控制液滴形成的装置和方法
[P].
J·M·卢肯斯
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
J·M·卢肯斯
.
:CN113812214B
,2025-09-09
[6]
用于控制液滴形成的装置和方法
[P].
J·M·卢肯斯
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
J·M·卢肯斯
.
中国专利
:CN113812214A
,2021-12-17
[7]
液滴生成的装置及液滴制备方法、液滴生成控制系统
[P].
刘洋
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
深圳华大智造科技股份有限公司
深圳华大智造科技股份有限公司
刘洋
;
杨梦
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
深圳华大智造科技股份有限公司
深圳华大智造科技股份有限公司
杨梦
.
中国专利
:CN118253358A
,2024-06-28
[8]
液滴沉积装置
[P].
S·特姆普勒
论文数:
0
引用数:
0
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0
S·特姆普勒
;
R·A·哈维
论文数:
0
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0
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0
R·A·哈维
;
M·R·舍菲尔德
论文数:
0
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0
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0
M·R·舍菲尔德
;
P·R·德鲁里
论文数:
0
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0
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0
P·R·德鲁里
;
A·康迪
论文数:
0
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0
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0
A·康迪
;
S·奥默
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
S·奥默
.
中国专利
:CN1333719A
,2002-01-30
[9]
液滴沉积装置
[P].
J·阿舍
论文数:
0
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0
h-index:
0
J·阿舍
;
C·D·菲利普斯
论文数:
0
引用数:
0
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0
C·D·菲利普斯
;
S·特姆普勒
论文数:
0
引用数:
0
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0
S·特姆普勒
.
中国专利
:CN1216502A
,1999-05-12
[10]
液滴沉积装置
[P].
史蒂夫·坦普尔
论文数:
0
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0
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史蒂夫·坦普尔
;
保罗·雷蒙德·特鲁里
论文数:
0
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0
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0
保罗·雷蒙德·特鲁里
.
中国专利
:CN101128321A
,2008-02-20
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