MEMS麦克风及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310004866.5

申请日：

2013-01-07

公开(公告)号：

CN103024651A

公开(公告)日：

2013-04-03

发明(设计)人：

潘旭东黎健泉

申请人：

申请人地址：

518057 广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座

IPC主分类号：

H04R1904

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-08	授权	授权
2013-04-03	公开	公开
2013-05-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101448958354 IPC(主分类):H04R 19/04 专利申请号:2013100048665 申请日:20130107
2022-12-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H04R 19/04 申请日:20130107 授权公告日:20150708 终止日期:20220107

共 50 条

[1]

MEMS麦克风及其制作方法 [P].

潘旭东 ;

黎健泉 .

中国专利 :CN103037297B ,2013-04-10

[2]

MEMS麦克风 [P].

潘旭东 ;

黎健泉 .

中国专利 :CN203086731U ,2013-07-24

[3]

MEMS麦克风 [P].

潘旭东 ;

黎健泉 .

中国专利 :CN203120151U ,2013-08-07

[4]

MEMS麦克风及其制作方法 [P].

蔡孟锦 .

中国专利 :CN103281659B ,2013-09-04

[5]

MEMS麦克风及其制作方法 [P].

周宗燐 ;

卓彥萱 ;

邱冠勋 ;

王喆 .

中国专利 :CN113365197A ,2021-09-07

[6]

MEMS麦克风及其制作方法 [P].

金文超 ;

李少平 ;

杨国庆 ;

颜凯 ;

王洁 ;

马纪龙 ;

董旸 .

中国专利 :CN118283511A ,2024-07-02

[7]

MEMS麦克风、移动终端及MEMS麦克风制作方法 [P].

李小波 .

中国专利 :CN115150727A ,2022-10-04

[8]

MEMS麦克风以及MEMS麦克风的制作方法 [P].

金文超 ;

李少平 ;

颜凯 ;

杨国庆 ;

董旸 ;

王洁 .

中国专利 :CN118283512A ,2024-07-02

[9]

MEMS芯片及其制作方法、MEMS麦克风 [P].

刘松 ;

邱冠勋 ;

周宗燐 .

中国专利 :CN111757226A ,2020-10-09

[10]

一种MEMS麦克风芯片及其制作方法及MEMS麦克风 [P].

蔡孟锦 ;

詹竣凯 .

中国专利 :CN105357617A ,2016-02-24

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