一种大功率射频功率源输出功率线性控制系统和方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202110728552.4
申请日
2021-06-29
公开(公告)号
CN113485515A
公开(公告)日
2021-10-08
发明(设计)人
舒先来 刘智民 谢亚红 蒋才超 潘军军 陈世勇 刘胜 崔庆龙 谢远来
申请人
申请人地址
230031 安徽省合肥市庐阳区三十岗乡古城路181号
IPC主分类号
G05F166
IPC分类号
代理机构
北京科迪生专利代理有限责任公司 11251
代理人
张乾桢
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
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