用于检测晶片的系统和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010004240.0

申请日：

2010-01-13

公开(公告)号：

CN101853797A

公开(公告)日：

2010-10-06

发明(设计)人：

阿杰亚拉里·阿曼努拉阿尔伯特·阿齐瓦密提郭宏图

申请人：

申请人地址：

新加坡加冷盆地工业区25加冷道号04-01

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

G01N2195

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

王敏杰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-12-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101153709608 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2010100042400 申请日:20100113
2010-10-06	公开	公开
2015-11-25	授权	授权

共 50 条

[1]

检测晶片的系统和方法 [P].

阿杰亚拉里·阿曼努拉 ;

葛汉成 .

中国专利 :CN104091766B ,2014-10-08

[2]

检测晶片的系统和方法 [P].

阿杰亚拉里·阿曼努拉 ;

林靖 ;

葛汉成 ;

黄国荣 .

中国专利 :CN103630549A ,2014-03-12

[3]

检测晶片的系统和方法 [P].

阿杰亚拉里·阿曼努拉 ;

葛汉成 .

中国专利 :CN101924053B ,2010-12-22

[4]

检测晶片的系统和方法 [P].

阿杰亚拉里·阿曼努拉 ;

林靖 ;

葛汉成 ;

黄国荣 .

中国专利 :CN101783306B ,2010-07-21

[5]

晶片检测系统和晶片检测方法 [P].

徐义 .

中国专利 :CN108878307B ,2018-11-23

[6]

用于处理晶片的方法和系统 [P].

B·卡尔尼安 ;

T·沃尔什 ;

D·哈利 .

中国专利 :CN101023429B ,2007-08-22

[7]

用于直写晶片的系统和方法 [P].

林本坚 ;

陈政宏 ;

林世杰 ;

高蔡胜 .

中国专利 :CN101566802A ,2009-10-28

[8]

利用湿氮气检测晶片缺陷的设备和方法 [P].

林义复 ;

林育仪 ;

张炜国 .

中国专利 :CN116380793B ,2024-02-02

[9]

用于裸晶片检查的系统和方法 [P].

方伟 ;

汪苏 .

:CN112740362B ,2024-09-03

[10]

用于裸晶片检查的系统和方法 [P].

方伟 ;

汪苏 .

中国专利 :CN112740362A ,2021-04-30

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