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用于制备化合物的气相沉积方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201280036116.X
申请日：
2012-07-20
公开(公告)号：
CN104093876A
公开(公告)日：
2014-10-08
发明(设计)人：
布赖恩·埃利奥特·海登 克里斯托弗·爱德华·李 邓肯·克利福德·艾伦·史密斯 马克·斯蒂芬·比尔 吕晓娟 矢田千宏
申请人：
申请人地址：
英国南安普敦
IPC主分类号：
C23C1406
IPC分类号：
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
贺卫国
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2016-08-17 授权 授权
2014-10-08 公开 公开
2014-10-29 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587995608 IPC(主分类):C23C 14/06 专利申请号:201280036116X 申请日:20120720
共 50 条
[1]
用于制备晶态含锂化合物的气相沉积方法 [P]. 
D·C·A·史密斯 ;
B·E·哈伊登 ;
L·M·伯金斯 ;
C·E·李 ;
A·阿纳斯塔索普洛斯 ;
K·J·哈钦斯 ;
S·亚克勒瓦 .
中国专利 :CN105793462B ,2016-07-20
[2]
用于制备磷酸盐化合物的气相沉积方法 [P]. 
布赖恩·埃利奥特·海登 ;
克里斯托弗·爱德华·李 ;
邓肯·克利福德·艾伦·史密斯 ;
马克·斯蒂芬·比尔 ;
吕晓娟 ;
矢田千宏 .
中国专利 :CN103703161A ,2014-04-02
[3]
三元化合物的气相沉积方法 [P]. 
赛沙德利·甘古利 ;
斯里尼瓦斯·甘迪科塔 ;
柳尚澔 ;
路易斯·菲利浦·哈基姆 .
中国专利 :CN102197459A ,2011-09-21
[4]
用于制备无定形含锂化合物的气相沉积法 [P]. 
B·E·哈伊登 ;
D·C·A·史密斯 ;
C·E·李 ;
A·阿纳斯塔索普洛斯 ;
矢田千寻 ;
L·M·伯金斯 ;
D·A·劳曼 .
中国专利 :CN105917018A ,2016-08-31
[5]
用于制备无定形含锂化合物的气相沉积法 [P]. 
B·E·哈伊登 ;
D·C·A·史密斯 ;
C·E·李 ;
A·阿纳斯塔索普洛斯 ;
矢田千寻 ;
L·M·伯金斯 ;
D·A·劳曼 .
中国专利 :CN109468595A ,2019-03-15
[6]
化学气相沉积用的有机钌化合物及使用该有机钌化合物的化学气相沉积方法 [P]. 
谷内淳一 ;
斋藤昌幸 ;
石田稔 .
中国专利 :CN101356181A ,2009-01-28
[7]
气相沉积前体化合物及使用方法 [P]. 
P·S·H·陈 ;
E·孔多 ;
B·C·亨德里克斯 ;
T·H·鲍姆 ;
D·凯珀 .
美国专利 :CN115768919B ,2025-04-18
[8]
用于沉积Ⅲ/Ⅴ族化合物的方法 [P]. 
奥尔加·克里莱克 ;
桑迪普·尼杰霍安 ;
尤里·梅尔尼克 ;
洛里·D·华盛顿 ;
雅各布·W·格雷森 ;
圣·W·权 ;
苏杰 .
中国专利 :CN101831694A ,2010-09-15
[9]
用于沉积Ⅲ/Ⅴ族化合物的方法 [P]. 
奥尔加·克里莱克 ;
桑迪普·尼杰霍安 ;
尤里·梅尔尼克 ;
洛里·D·华盛顿 ;
雅各布·W·格雷森 ;
圣·W·权 ;
苏杰 .
中国专利 :CN101409233B ,2009-04-15
[10]
用于沉积Ⅲ/Ⅴ族化合物的方法 [P]. 
奥尔加·克里莱克 ;
桑迪普·尼杰霍安 ;
尤里·梅尔尼克 ;
洛里·D·华盛顿 ;
雅各布·W·格雷森 ;
圣·W·权 ;
苏杰 .
中国专利 :CN102560633B ,2012-07-11
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