硅片生产过程的控制系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911334090.7

申请日：

2019-12-23

公开(公告)号：

CN110970530A

公开(公告)日：

2020-04-07

发明(设计)人：

左国军张浩万红朝

申请人：

申请人地址：

213133 江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343

代理人：

汪海屏;刘潇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-02	授权	授权
2020-04-07	公开	公开
2020-05-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20191223

共 50 条

[1]

制糖生产过程柔性控制系统 [P].

张健 ;

莫林 ;

易新 .

中国专利 :CN104714492A ,2015-06-17

[2]

一种用于服装生产过程的生产设备智能监视控制系统 [P].

陈桂林 ;

卢业虎 ;

陈学军 ;

叶宏武 ;

林鸿 .

中国专利 :CN114988160A ,2022-09-02

[3]

用于生产过程自动化的集散控制系统 [P].

张祖鹰 .

中国专利 :CN202120103U ,2012-01-18

[4]

长材生产过程控制系统 [P].

陈干 .

中国专利 :CN105404265A ,2016-03-16

[5]

一种铝棒生产过程控制系统 [P].

李东儒 ;

王刚 ;

石广建 ;

石利俊 ;

石磊亭 ;

高子龙 ;

刘海龙 ;

杨如意 ;

王蒙 ;

党小芬 ;

乌力吉木仁 .

中国专利 :CN204423124U ,2015-06-24

[6]

产品生产过程管理系统及方法 [P].

葛明 ;

谭振华 ;

黄文俊 ;

郭艳杰 ;

冯裕昌 ;

林浩诺 ;

黄宝川 .

中国专利 :CN111652573A ,2020-09-11

[7]

乳化炸药生产过程中的随动控制系统 [P].

李寿 ;

黎文国 ;

黄和智 ;

王灿红 ;

李凤刚 ;

何静 .

中国专利 :CN202279787U ,2012-06-20

[8]

服装生产过程中的智能控制系统及其方法 [P].

晏淑萍 .

中国专利 :CN119536166A ,2025-02-28

[9]

复混肥生产过程的自动化控制系统 [P].

惠自前 ;

吴晶 ;

惠秋 .

中国专利 :CN119511984A ,2025-02-25

[10]

聚氯乙烯生产过程控制系统 [P].

付野 ;

于利民 ;

何忠贤 ;

张建华 .

中国专利 :CN1601516A ,2005-03-30

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