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一种精度高的蚀刻机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921084600.5
申请日：
2019-07-11
公开(公告)号：
CN210683949U
公开(公告)日：
2020-06-05
发明(设计)人：
蒋建军
申请人：
申请人地址：
213000 江苏省常州市新北区春江镇春园路2号
IPC主分类号：
C23F108
IPC分类号：
C23F102
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-05 | 授权 | 授权 |