气体控制器、气体控制器的保护装置及保护方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200710041358.9
申请日
2007-05-28
公开(公告)号
CN101315869B
公开(公告)日
2008-12-03
发明(设计)人
吴卫卫 于永航
申请人
申请人地址
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号
H01L2100
IPC分类号
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
李文红
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
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