显影液喷嘴组件和显影装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201420304963.6
申请日
2014-06-09
公开(公告)号
CN203882094U
公开(公告)日
2014-10-15
发明(设计)人
伍强 郝静安 孔德平
申请人
申请人地址
100176 北京市大兴区经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号
IPC主分类号
G03F730
IPC分类号
代理机构
上海光华专利事务所 31219
代理人
李仪萍
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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