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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-06-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101468534203 IPC(主分类):H03H 17/02 专利申请号:2011103351487 申请日:20111028 |
| 2017-08-22 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101757651465 IPC(主分类):H03H 17/02 专利号:ZL2011103351487 变更事项:专利权人 变更前:上海微电子装备有限公司 变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司 变更事项:地址 变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号 变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号 |
| 2013-05-08 | 公开 | 公开 |
| 2016-03-30 | 授权 | 授权 |