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一种全自动扩晶机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811603239.2
申请日：
2018-12-26
公开(公告)号：
CN109920746A
公开(公告)日：
2019-06-21
发明(设计)人：
王江
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市常平镇卢屋村荔园工业一路2号B栋101
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L3300
代理机构：
东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251
代理人：
刘汉民
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-06-21 | 公开 | 公开 |
| 2019-07-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20181226 |