硬掩模用组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810482175.9

申请日：

2018-05-18

公开(公告)号：

CN109212905B

公开(公告)日：

2019-01-15

发明(设计)人：

崔汉永梁敦植金烔永

申请人：

申请人地址：

韩国全罗北道

IPC主分类号：

G03F711

IPC分类号：

G03F709 G03F7004

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

钟晶;钟海胜

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-15	公开	公开
2019-02-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/11 申请日:20180518
2021-10-26	授权	授权

共 50 条

[1]

硬掩模用组合物 [P].

金烔永 ;

赵庸桓 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN110850684A ,2020-02-28

[2]

硬掩模用组合物 [P].

金烔永 ;

郑景文 ;

赵庸桓 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN111458982A ,2020-07-28

[3]

硬掩模用组合物 [P].

梁敦植 ;

梁振锡 ;

朴根永 ;

崔汉永 ;

崔相俊 .

中国专利 :CN108508702A ,2018-09-07

[4]

硬掩模用组合物 [P].

梁敦植 ;

梁振锡 ;

朴根永 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN108089405A ,2018-05-29

[5]

硬掩模用组合物 [P].

金烔永 ;

赵庸桓 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN110850683A ,2020-02-28

[6]

硬掩模用组合物 [P].

梁敦植 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN107797385A ,2018-03-13

[7]

硬掩模用组合物 [P].

崔汉永 ;

梁敦植 ;

金相泰 ;

成始震 .

中国专利 :CN107340688B ,2017-11-10

[8]

硬掩模用组合物 [P].

梁敦植 ;

梁振锡 ;

崔汉永 .

中国专利 :CN108227385A ,2018-06-29

[9]

硬掩模用组合物 [P].

崔汉永 ;

梁敦植 ;

梁振锡 ;

朴根永 .

中国专利 :CN108227386A ,2018-06-29

[10]

硬掩模用组合物 [P].

梁敦植 ;

梁振锡 ;

朴根永 ;

崔汉永 ;

崔相俊 .

中国专利 :CN108427246B ,2018-08-21

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