一种微波等离子光源

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200420032780.X

申请日：

2004-02-09

公开(公告)号：

CN2679965Y

公开(公告)日：

2005-02-16

发明(设计)人：

金行星金宇雷彩云金晶

申请人：

申请人地址：

621900四川省绵阳市科学城九区8－3－702

IPC主分类号：

H05B4128

IPC分类号：

F21S200

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-02-16	授权	授权
2008-03-26	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)

共 50 条

[1]

微波等离子光源 [P].

李汉国 .

中国专利 :CN309364422S ,2025-07-01

[2]

微波导入机构、微波等离子源以及微波等离子处理装置 [P].

池田太郎 .

中国专利 :CN102027575B ,2011-04-20

[3]

微波等离子照明装置 [P].

张涛 ;

李彬 .

中国专利 :CN1728331A ,2006-02-01

[4]

一种微波等离子装置 [P].

吴穹 .

中国专利 :CN108834296A ,2018-11-16

[5]

一种微波等离子装置 [P].

陈先明 ;

曹家建 ;

朱鸥飞 ;

徐祖元 ;

徐铭俊 ;

董龙刚 ;

赵小荣 ;

曾琼生 .

中国专利 :CN212991035U ,2021-04-16

[6]

一种微波等离子火炉装置 [P].

刘程 ;

张贵新 ;

黄诗洋 ;

邓磊 ;

谢宏 .

中国专利 :CN108980922A ,2018-12-11

[7]

一种微波等离子蚀刻机 [P].

廖鑫 ;

郭明亮 ;

易先德 .

中国专利 :CN212725237U ,2021-03-16

[8]

一种微波等离子火炉装置 [P].

刘程 ;

张贵新 ;

黄诗洋 ;

邓磊 ;

谢宏 .

中国专利 :CN209196937U ,2019-08-02

[9]

一种微波等离子火炉装置 [P].

刘程 ;

张贵新 ;

黄诗洋 ;

邓磊 ;

谢宏 .

中国专利 :CN108980922B ,2024-07-26

[10]

一种微波等离子溅射光学镀膜机 [P].

毛念新 ;

黄翔鄂 ;

严仲君 .

中国专利 :CN212051629U ,2020-12-01

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