共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
灵敏度可调谐的基于谐振腔干涉结构的声波传感器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010953759.7
申请日：
2020-09-11
公开(公告)号：
CN112254752B
公开(公告)日：
2021-01-22
发明(设计)人：
于长秋
黄海侠
周铁军
王宏腾
李海
申请人：
申请人地址：
310018 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街
IPC主分类号：
G01D548
IPC分类号：
代理机构：
杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240
代理人：
杨舟涛
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01D 5/48 申请日:20200911 |
| 2021-01-22 | 公开 | 公开 |
| 2022-04-22 | 授权 | 授权 |