用于电解抛光的电解液以及电解抛光方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200710148276.4
申请日
2007-09-04
公开(公告)号
CN101168847A
公开(公告)日
2008-04-30
发明(设计)人
小寺章 当间康 铃木作 斋藤孝行 小畠严贵
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
C25F316
IPC分类号
H01L213063 H01L21465
代理机构
永新专利商标代理有限公司
代理人
王英
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
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